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一、低真空機組：
　　工作壓力高，排氣量大，多用于真空輸送、真空浸漬等。主泵正排量手動干油泵常用的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵，噴射泵、分子篩吸附泵都可以勝任。但根據泵送氣體的清潔度、濕度等條件，需要除塵器，氣水油水分離器、干燥捕集器等設施。
　　二、中真空機組：
　　適用于涂布機、真空冶煉、真空熱處理、醫藥化工、電焊等行業需要高抽速并獲得中等真空的各種真空系統。過去多由羅茨真空泵油封機械泵、羅茨真空水環真空泵、雙羅茨真空泵組成，隨著螺桿真空泵，等無油手動干油泵的崛起，羅茨真空泵、螺桿真空泵等無油真空機組逐漸增多，適應性更廣。
　　三、高真空機組
　　該裝置的主泵通常為油擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接在大氣中工作，因此需要配備預抽泵或前置維護泵。一些擴散泵高真空泵機組還配有前級儲氣罐，以防止氣壓波動并提高機組性能。