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1、真空泵機組工作原理葉片的葉輪偏心安裝在圓柱形泵殼內。一定量的水被注入泵中。當葉輪旋轉時，水被甩到泵殼上形成水環，水環的內表面與葉輪的輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半轂與水環之間的進氣空間逐漸擴大，從而形成真空，使氣體通過進氣管進入泵內的進氣空間。然后氣體進入左半部，由于輪轂圈之間的容積逐漸壓縮，壓力加大，于是氣體通過排氣空間和排氣管排到泵外。
　　2、旋片真空泵的工作原理：
　　旋片真空泵是一種油封機械真空泵。屬于低真空泵。可單獨使用，也可作為其他真空泵的前級泵。它已廣泛應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫藥等生產和科研部門。
　　3、羅茨真空泵的工作原理：
　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的連續旋轉，泵送氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0，然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關閉，泵室中的氣體不會被壓縮和膨脹。然而，當轉子的頂部翻轉排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側連通時，由于排氣側的高氣體壓力，一些氣體被沖回到空間v0中，這突然增加了氣體壓力。當轉子繼續旋轉時，氣體從泵中排出。